fs4001小流量(liang)氣體質量流(liu)量傳感器

簡要(yao)描述：

siargo ltd fs4001小流量(liang)氣體質量流(liú)量傳感器是(shi)專門爲各類(lèi)小流量氣體(tǐ)的測量和過(guò)程控制而設(she)計的。這一系(xì)列傳感器均(jun1)采✔️用本公司(sī)自主研發的(de)微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯(xīn)片來制作，适(shì)用💯于各類清(qīng)潔氣體。*的封(feng)裝技術使之(zhi)可用于各類(lei)管徑，成本低(dī)、易安裝、不需(xu)要溫😘度壓力(lì)補償，可替代(dai)容積式或壓(ya)差式的傳統(tong)流量🔞傳感器(qì)。

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詳細(xi)介紹

微(wēi)型小流量氣(qi)體流量計,廣(guang)州氣體流量(liang)計, 深圳(zhèn) 轉子流量計(ji), 廣東實(shi)驗室氣體流(liu)量計 ,東(dōng)莞數顯氣體(tǐ)質量流量計(ji) 小流量電磁(cí)流量計微流(liu)量流量計微(wēi)小流量計濕(shi)式氣體流量(liàng)計超聲波氣(qi)體流量計

産品(pǐn)特點：傳(chuan)感器靈敏度(dù)高,有極小的(de)始動流量傳(chuan)感器芯片采(cǎi)用熱質量流(liú)量計量,無需(xu)溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳(chuán)感器的🏃‍♀️高精(jing)度計✊量在單(dan)個芯片上實(shi)現了多傳✉️感(gǎn)器集成,使傳(chuán)感器的量程(cheng)比大大提高(gāo)傳感器的零(líng)點穩定度高(gao)全量程高穩(wěn)定性全量程(chéng)🤩高精确度🐆和(he)優良的重複(fu)性低功耗低(dī)壓損響應⚽時(shí)間快.
fs4001小(xiǎo)流量氣體質(zhi)量流量傳感(gǎn)器 主要參數(shù)：

性能參數	FS4001		單(dan)位
通徑	1.0	1.8	mm
大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精(jīng) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		%讀(dú)數
零點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸出飄(piāo)移	±0.12		%/oC
響應時間(jiān)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式	線性(xìng)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc
大(da)流量壓損	350	300	pa
大(dà)工作壓力	0.5		MPa
工(gōng)作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲(chu)溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結冰、無(wú)凝露）
機械接(jiē)口	可拆式軟(ruan)管接頭
校準(zhǔn)方式	空氣（或(huò)其他氣體），20oC，101.325kPa
重(zhòng)量	15		g