産品(pin)簡介：
FS4001系列實驗室(shì)氣體流量傳感器(qì) 是專門爲各(gè)類小流量氣體的(de)測量和過程控制(zhi)而設🔞計的。這一❄️系(xì)列傳感器均采用(yong)本公司自主研發(fā)的微機電系統（ MEMS ）流量傳感芯片(pian)來制作。
FS4001系列實驗(yan)室氣體流量傳感(gǎn)器 适用于各(gè)類清潔氣體。*的封(feng)裝技術使之可用(yong)于各類管♍徑，成本(běn)♊低、易安裝、不需要(yào)溫度壓力補償，可(kě)替代容積式或壓(ya)⁉️差式的傳統流量(liang)傳感器。
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,
有極小的始動(dong)流量
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傳感器(qì)芯片采用熱質量(liàng)流量計量
無(wú)需溫度壓力補償(cháng)
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感器的高精度(du)計量
使傳感器的量程(cheng)比大大提高
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傳感器的零點穩(wěn)定度高
全量(liàng)程高穩定性
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全量程高精确度(dù)和優良的重複性(xing)
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低功耗
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響應(yīng)時間快
機械(xiè)尺寸：
主(zhǔ)要參數：
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性能參數(shu) |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
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大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
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量程比 |
>100：1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複(fu)性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出(chū)飄移 |
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mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響(xiang)應時間 |
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mses |
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工作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
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線性，RS232/模(mo)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓(yā)損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工(gōng)作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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-20 ~ +65 |
oC |
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<95%RH（無結冰(bīng)、無凝露） |
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可拆式軟管接頭(tóu) |
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空氣（或(huò)其他氣體），20oC，101.325kPa |
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15 |
g |
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