流量測(cè)量技術之 微小流量(liàng) 的測量(liàng)     
半導體(ti)制造業、生物(wù)工程、精細化(huà)工等的興起(qi)，使流量測量(liang)向低端延伸(shēn)，小流量計流(liú)量的要求在(zai)上世紀 80 ∽ 90 年代凸(tū)顯起來。何謂(wei)小流量 ? 業界尚無*的(de)定義和界限(xian)，小流量因應(ying)用領域而異(yi)🈲是👅一👅個模糊(hú)🤞的概念。管道(dao)小流量測量(liang)體現于管徑(jing)小和流速低(di)兩個層次，就(jiu)💔流程工業而(ér)言，習慣上 DN10 甚至 DN15 以下管徑流(liu)量測量稱之(zhi)小流量測量(liang)，通常其流量(liàng)🌏值液體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以(yǐ)下，流量儀表(biǎo)滿度流量時(shi)的流速低于(yu) 0.1m/s 。
1 、測(cè)量方法
傳統小流量(liang)測量技術節(jiē)流差壓 ( 層流 ) 法(fa)、浮子法和容(rong)積法等有了(le)的改進，新測(cè)量技術如超(chao)聲🔆法🏃‍♂️、熱法、科(ke)裏奧利法等(děng)也有成效地(dì)應于液體和(he)氣體小流量(liang)☁️測量㊙️。
2 、特(te)點
微小(xiǎo)流量與一般(bān)流量測量相(xiàng)比較，具有以(yi)下特點。
1) 雷諾數低
一般管道(dào)流動均爲紊(wen)流流動，流量(liàng)儀表也是針(zhen)對⭕紊🧡流流動(dòng)态設計的，而(er)小流量儀表(biǎo)因管徑小常(chang)處于層流流(liu)動 ( 例如(ru)管内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或(huò)層流 / 紊(wen)流過渡區流(liú)态流動，小流(liú)量測量受使(shǐ)用中流體黏(nian)度變化影響(xiǎng)頗大。
2) 要(yao)用實際使用(yong)流體校準
液體流量(liàng)儀表一般用(yong)水校準，氣體(tǐ)用空氣校準(zhǔn)。若知道實際(jì)測量流體與(yu)校準流體間(jian)某些物性不(bu)同對示值有(you)規律變化時(shi)，中大管徑流(liu)量儀表常以(yi)适當系數修(xiū)正。但有些小(xiǎo)🚶‍♀️流量儀表受(shou)黏度等流體(tǐ)物性影響大(dà)，須以實際使(shǐ)用流體👌校準(zhun)。所幸流量小(xiao)，用實際使用(yong)流體校準難(nán)度不大，但在(zài)作有害性流(liu)體校準時應(ying)注意安全和(hé)環境污染。
3) 要求測量(liang)時防止污染(rǎn)流體
若(ruò)測量潔淨氣(qì)體和純水常(chang)不允許接觸(chù)流體的儀👅表(biǎo)零🈚件材料析(xī)出離子，例如(rú)半導體制備(bèi)中儀表不能(néng)用金屬和玻(bō)璃制成，隻能(neng)用塑料。流體(ti)中也不允許(xǔ)混入活動件(jiàn)的磨蝕塵粒(lì)。流量儀表流(liu)通通道要盡(jin)可能簡單，不(bu)應有潴留 ( 指液體在(zai)體内不正常(cháng)地聚集停留(liú) ) 部位，防(fáng)止潴留介質(zhi)變質。
4) 氣(qì)泡和塵埃附(fù)着的影響
因管徑小(xiao)黏性增加，液(yè)體中微細氣(qì)泡易在管系(xì)流動過程中(zhōng)積👨‍❤️‍👨聚變大，使(shi)測量時指示(shi)不穩，度下降(jiang)。流體中塵埃(ai)附着測量元(yuán)件也要影響(xiang)測量值，例如(ru)浮子流量計(ji)的浮♍子上沉(chen)㊙️積有肉眼覺(jiao)察不出的附(fu)着層也會影(ying)響示值。
5) 流量儀表品(pǐn)種使用上受(shòu)到一定限制(zhi)
在衆多(duo)測量原理流(liú)量儀表中，因(yīn)各種原因小(xiao)流量應用受(shòu)♻️到一些限制(zhì)，當前能應用(yong)于小流量的(de)品種如表格(gé)所示