簡介：
FS4001系(xi)列測量(liàng)氣體流(liu)量傳感(gan)器 是專門(men)爲各類(lèi)小流量(liàng)氣體的(de)測量和(he)過程控(kòng)制而設(she)計的。這(zhè)💯一系列(liè)傳感器(qi)均采用(yòng)本公司(sī)自主研(yan)發的微(wēi)機電系(xì)統（ MEMS ）流量傳(chuán)感芯片(pian)來制作(zuò)。
FS4001系列測(ce)量氣體(ti)流量傳(chuán)感器 适用(yong)于各類(lèi)清潔氣(qi)體。*的封(feng)裝技術(shù)使之可(ke)用于各(ge)類管徑(jing)，成本低(di)、易安裝(zhuāng)、不需要(yào)溫度壓(yā)力補償(chang)，可替代(dai)容積式(shì)或壓差(cha)式的傳(chuán)統流量(liang)傳感器(qi)。
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,
有極(ji)小的始(shi)動流量(liang)
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傳(chuán)感器芯(xīn)片采用(yòng)熱質量(liàng)流量計(ji)量
無需溫(wen)度壓力(li)補償
,
-
感器(qi)的高精(jing)度計量(liang)
使傳(chuan)感器的(de)量程比(bi)大大提(tí)高
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傳感器(qi)的零點(dian)穩定度(dù)高
全量程(chéng)高穩定(dìng)性
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全量程(chéng)高精确(què)度和優(you)良的重(zhong)複性
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低功(gōng)耗
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響(xiǎng)應時間(jiān)快
主要參(cān)數：
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性能(neng)參數 |
FS4001 |
單(dan)位 |
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1.8 |
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大流量(liang) |
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500, 1000 |
SLPM |
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量程比(bǐ) |
>100：1 |
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±(1.5+0.2FS) |
% |
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重(zhong)複性 |
0.25 |
%讀(du)數 |
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±30 |
mV |
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輸出(chū)飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響(xiǎng)應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
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8~18Vdc,50mA |
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輸出(chu)方式 |
線(xiàn)性，RS232/模拟(ni)電壓0.5~4.5Vdc |
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300 |
pa |
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大工(gong)作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
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工作溫(wēn)度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲(chǔ)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工(gōng)作濕度(du) |
<95%RH（無結冰(bing)、無凝露(lu)） |
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機械接(jiē)口 |
可拆(chāi)式軟管(guǎn)接頭 |
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空氣（或(huò)其他氣(qì)體），20oC，101.325kPa |
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重量(liàng) |
15 |
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