微小(xiao)氣體流(liu)量計,MF4001氣(qì)體流量(liang)計

簡(jiǎn)要描述(shu)：

微小氣(qì)體流量(liàng)計,MF4001氣體(tǐ)流量計(ji)是廣州(zhou)迪川儀(yi)器儀表(biao)有限公(gong)司專門(men)爲各類(lèi)小流量(liang)氣體的(de)測量和(he)過🧡程控(kong)制而設(she)計的。這(zhe)一系列(liè)傳感器(qì)均采用(yòng)本公司(si)自主研(yán)💰發的微(wēi)機電系(xì)♈統（MEMS）流量(liang)傳感芯(xīn)片來制(zhì)作，适用(yòng)于各類(lèi)清潔氣(qì)體🍓。*的封(fēng)裝技術(shu)使之可(ke)用于各(ge)類🤩管徑(jing)，成本低(di)、易安裝(zhuāng)、不需要(yao)溫度壓(ya)力補償(cháng)，可替代(dài)㊙️容積式(shi)或壓差(chà)式的傳(chuan)統流量(liàng)傳感器(qi)。

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詳(xiáng)細介紹(shao)

微小氣(qì)體流量(liang)計,MF4001氣體(ti)流量計(ji)

産(chan)品簡介(jiè)：
FS4001系(xi)列小流(liu)量氣體(tǐ)質量流(liú)量傳感(gan)器是廣(guang)州迪川(chuān)儀器儀(yí)表有限(xian)公司專(zhuan)門爲各(ge)類小流(liú)量氣體(tǐ)的測量(liàng)和過🌐程(cheng)控制而(ér)設計的(de)。這一系(xi)列傳感(gan)器均采(cǎi)用本公(gong)司自主(zhu)研發的(de)微機🍓電(dian)系統♍（ MEMS）流量(liàng)傳感芯(xīn)片來制(zhi)作，适用(yong)于各類(lèi)清潔氣(qì)體。*的封(feng)裝🈲技術(shù)使之可(ke)用于各(ge)類管徑(jing)，成本低(dī)、易安裝(zhuāng)、不需要(yào)溫💯度壓(yā)力補償(chang)，可替代(dai)🛀容積式(shì)或壓差(chà)式的傳(chuán)統流量(liang)傳感器(qì)。
産(chan)品特點(diǎn)：微小氣(qi)體流量(liàng)計,MF4001氣體(tǐ)流量計(ji)
- 傳(chuán)感器靈(ling)敏度高(gāo) ,有(you)極小的(de)始動流(liu)量
- 傳感器(qi)芯片采(cǎi)用熱質(zhi)量流量(liàng)計量 ,無需(xu)溫度壓(ya)力補償(cháng) ,保(bao)證了傳(chuán)
- 感(gǎn)器的高(gao)精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上(shàng)實現了(le)多傳感(gǎn)器集成(chéng) ,使(shi)傳感器(qi)的量程(chéng)比大大(dà)提高
- 傳感(gan)器的零(ling)點穩定(dìng)度高
- 全量(liàng)程高穩(wěn)定性
- 全量(liang)程高精(jing)确度和(hé)優良的(de)重複性(xìng)
- 低(di)功耗
- 低壓(yā)損
- 響應時(shí)間快
主要(yao)參數：

性能(neng)參數	FS4001		單位(wèi)
通(tōng) 徑(jìng)	1.0	1.8	mm
zui大(da)流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(chéng)比	2132132132131231312100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀(dú)數
零點輸(shū)出飄移(yí)	±30		mV
輸(shū)出飄移(yí)	±0.12		%/oC
響(xiang)應時間(jian)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工(gōng)作電源(yuán)	8~18Vdc,50mA
輸(shū)出方式(shì)	線(xiàn)性， RS232/模拟電(diàn)壓 0.5~4.5Vdc
zui大流量(liang)壓損	350	300	pa
zui大工(gōng)作壓力(li)	0.5		MPa
工(gong)作溫度(du)	-10 ~ +55		oC
存(cun)儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工(gong)作濕度(dù)	<95%RH（無(wu)結冰、無(wú)凝露）
機械(xiè)接口	可拆(chāi)式軟管(guan)接頭
校準(zhun)方式	空氣(qi)（或其他(tā)氣體）， 20oC， 101.325kPa
重量	15		g